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VLSI制造中物理气相淀积工艺的优化及其相关研究的开题报告

VLSI制造中物理气相淀积工艺的优化及其相关研究的开题报告【开题报告】一、研究背景随着科技的飞速发展，微电子技术的应用越来越广泛，而VLSI（超大规模集成电路）制造技术作为微电子技术的一个关键领域，也