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微电子新技术论文

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微电子机械技术的发展研究论文

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微纳米级微电子机械系统制造新技术论文

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微电子技术发展及未来趋势展望论文

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微电子技术发展历史论文摘要本文展望了 21世纪微电子技术的发展趋势。认为: 21世纪初的微电子技术仍将以硅基CMOS电路为主流工艺, 但将突破目前所谓的物理“限制”,继续快速发展;集成电 路将逐步发展