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化工设备真空获得和真空镀膜a
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经典真空技术与设备
一、经典真空技术与设备 第一章 真空及其应用 张振厚 李云奇 1.1 真空科学发展史的回顾及其分
真空设备操作维护保养规程
真空设备操作维护保养规程目的:按规定进行设备的管理,指导正确操作、使用、维护和保养设备,保证生产,提高产品质量,改进环境绩效,预防和减少事故发生。2.范围:本规程适用于真空泵及真空系统的使用和维护保养