磁控溅射镀膜技术1

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《真空镀膜》课件

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高真空单靶磁控溅射镀膜机使用说明

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真空镀膜机技术指标

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真空蒸发和离子溅射镀膜

实验一  真空蒸发和离子溅射镀膜随着材料科学的发展，近年来薄膜材料作为其中的一个重要分支从过去体材料一统天下的局面中脱赢而出。如过去需要众多材料组合才能实现的功能，现在仅需数几个器件或一块集成电路板就