腾讯文库搜索-真空镀膜工艺参数设计
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卷绕式真空镀膜机真空泵结构设计
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真空镀膜技术
真空镀膜技术磁控溅射膜即物理气相沉积(PVD)金属镀膜不一定用磁控溅射,可以根据成本&工艺需求选择合理的沉积方法,具体有:物理气相沉积(PVD)技术第一节 概述物理气相沉积技术早在20世纪初