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精编微电子工艺清洗技术分析

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微电子工艺原理-第5讲清洗工艺

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《微电子工艺》课程教学大纲

微电子工艺Microelectronics technics一、课程基本情况课程类别:专业方向课课程学分:3学分课程总学时:48学时,其中讲课:32学时,实验:16学时,上机: 学时,课外 学时 课程

精编微电子技术发展历史论文

微电子技术发展历史论文摘要本文展望了21世纪微电子技术的发展趋势。认为:21世纪初的微电子技术仍将以硅基CMOS电路为主流工艺,但将突破目前所谓的物理“限制”,继续快速发展;集成电路将逐步发展成为集成

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微电子工艺原理第5讲清洗工艺2

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微电子工艺基础氧化工艺

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微电子技术应用基础第二章集成电路的制造工艺

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微电子工艺之刻蚀技术

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