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第三代半导体材料制造工艺

- 近年来,随着半导体器件应用领域的不断扩大,特别是有些特殊场合要求半导体适应在高温、强辐射和大功率等环境下工作,传统的一和二代半导体无能为力。于是人们将目光投向一些被称为第三代宽带隙半导体材料的研究

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半导体制造工艺第3章清洗工艺

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半导体制造-刻蚀工艺介绍

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半导体制造工艺第6章金属化

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精选半导体工艺过程

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精选半导体制造工艺之离子注入原理课件

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半导体制造工艺第7章光刻

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半导体制造技术离子注入工艺

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