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表面工程技术2材料表界面物理基础课件

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表面工程技术6离子注入

§6 离子注入离子注入是核科学技术在材料工业方面的应用,其基本工艺是将几万到几十万eV的高能离子流注入到固体材料表面,从而使材料表面的物理、化学或机械性能发生变化,达到表面改质的目的。离子注入技术首先

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