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简支欧拉-伯努利梁谐响应分析基于Euler–Bernoulli方程微悬臂梁弛豫分析 摘要:为探讨微机电系统中悬臂梁结构弛豫动力学特性，本文基于Euler–Bernoulli方程，计入空气滑膜阻尼对悬臂

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