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单靶镀膜工艺操作规程

单靶镀膜工艺操作规程编 号 ZHKJ--1第 A 版 第 0 次修改山东中恒科技有限公司第 1 页 共 4 页适用范围本规程规定了单靶镀膜操作的技术要求和操作步骤。技术

PECVD镀膜工艺作业指导书

表6-5 PECVD镀膜工艺作业指导书光伏发电1131 第六车间工艺名称:PECVD镀膜工艺作业指导 书版本:A文件编号:1131-37修订:无文件类型:表格.doc撰写人:许志 杰,陈锦焕,谭 凯文

磁控溅射镀膜原理及工艺设计

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真空镀膜工艺流程

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光学镀膜工艺指导概要

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PVD镀膜工艺

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ncvm真空镀膜工艺

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- 磁控溅射镀膜原理及工艺 - 2010级化学工程与工艺班姚伟 - 摘要 - 真空镀膜技术作为一种产生特定膜层的技术,