重氮萘醌磺酸酯酚醛树脂——正性光致抗蚀剂的制备与性质

重氮萘醌磺酸酯-酚醛树脂正性光致抗蚀剂的制备与性质摘要：本实验采用 2,3,4- 三羟基二苯甲酮作为接枝化母体，与 2,1,5－重氮萘醌磺酰氯进行酯化，合成感光化合物。之后再与线性酚醛树脂—

重氮萘醌磺酸酯-酚醛树脂——正性光致抗蚀剂的制备与性质

重氮萘醌磺酸酯-酚醛树脂正性光致抗蚀剂的制备与性质摘要：本实验采用2,3,4-三羟基二苯甲酮作为接枝化母体，与2,1,5－重氮萘醌磺酰氯进行酯化，合成感光化合物。之后再与线性酚醛树脂—BTB24配合，