薄膜厚度及其折射率的测量方法综述

薄膜厚度及其折射率的测量方法综述黄丽琳 ( XX师院物理与电子科学系 675000)摘要：介绍了椭圆偏振法、棱镜耦合法、干预法、V-棱镜法和透射谱线法测量薄膜厚度和折射率的根本原理和仪器