薄膜厚度及其折射率的测量方法综述

薄膜厚度及其折射率的测量方法综述黄丽琳 ( XX师院物理与电子科学系 675000)摘要：介绍了椭圆偏振法、棱镜耦合法、干预法、V-棱镜法和透射谱线法测量薄膜厚度和折射率的根本原理和仪器

椭圆偏振法测量薄膜厚度及其折射率

实验名称：  椭圆偏振法测量薄膜厚度及其折射率      一、实验目的1、利用椭偏仪测量硅衬底薄膜的折射率和厚度；提高物理推理与判别处理能力2、用自动椭偏仪再测量，进行比对；分析不同实验仪器两种方式的

椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率

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折射率测量方法综述

折射率测量方法综述冯明庆摘要：本文主要研究了晶体、液体、气体折射率的测量方法。对晶体主要以V形棱镜法、最小偏向角法、掠入射法；对液体主要以用V棱镜折射仪测定液体折射率的可测范围、采用掠射法和牛顿环的实

椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率

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kayAAA椭圆偏振法测量薄膜厚度及折射率

椭圆偏振法测量薄膜厚度及折射率实验目的：1、利用椭偏仪测量硅衬底薄膜的折射率和厚度；提高物理推理与判别处理能力。2、用自动椭偏仪再测量进行对比；分析不同实验仪器两种方式的测量。提高误差分析与分配能力。

椭圆偏振法测量薄膜厚度及折射率

得分教师签名批改日期      深  圳  大  学  实  验  报  告课程名称：        近代物理实验            实验名称：  椭圆偏振法测量薄膜厚度及折射率  学院：   

用反射椭偏仪测量折射率和薄膜厚度

用反射椭偏仪测量折射率和薄膜厚度忻获麟（北京大学物理系，00104005，实验日期：十五周星期四）实验目的学习使用反射椭偏仪测量折射率和薄膜厚度实验仪器椭偏仪，激光器，样品等实验原理一、 基本原理反射

用薄膜测厚仪测量薄膜厚度及折射率

材料物理实验报告 实验时间 年 月 日[实验名称]用薄膜测厚仪测量薄膜厚度及折射率[实验目的]1、了解测量薄膜厚度及折射率的方法，熟悉测厚仪工作的基本原理

椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率(9)

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椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率资料

实验15   椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率     在近代科学技术的许多部门中对各种薄膜的研究和应用日益广泛．因此，更加精确和迅速地测定一给定薄膜的光学参数已变得更加迫切和重要．在实际工作中虽然可以

用椭圆偏振仪测量薄膜的厚度和折射率

用椭圆偏振仪测量薄膜的厚度和折射率一实验目的1、 了解椭圆偏振法的基本原理；2、 学会用椭圆偏振法测量纳米级薄膜的厚度和折射率. 二实验仪器TPY-1型椭圆偏振测厚仪,计算机三实验原理：椭圆偏振测厚技