国内硅烷法制备电子级区熔用多晶硅的进展分析

国内硅烷法制备电子级区熔用多晶硅的进展分析半导体材料中用量最大和用途最广的是半导体硅，半导体级多晶硅广泛应用于微电子、晶体管及集成电路、半导体器件等半导体工业中。电子级多晶硅是半导体器件、集成电路、大