基本光刻工艺流程

第十三章 基本光刻工艺流程光刻工艺是一种用来去掉晶圆表面层上所规定的特定 区域的基本操作，如图所示。这一章主要介绍基本光刻工 艺中的表面准备至曝光的工艺步骤及光刻胶的特性。 13.1 简介 晶圆 光刻