集成电路制造技术原理与工艺王蔚习题解答第4单元

复习题ULSI中对光刻技术的基本要求？答：一般来说，在ULSI中对光刻技术的基本要求包括五方面： = 1 \* GB3 ①高分辨率。随着集成电路集成度的不断提高，加工的线条越来越精细，要求光刻的图形具