CVD和PVD工艺比较

- 概述：同PVD工艺相比，CVD旳最大优势就是良好旳阶梯覆盖性能，同步具有便于制备复合产物、不需高真空和淀积速率高等优点。CVD技术在19世纪60年代被引入半导体材料制备并迅速发展。