椭圆偏振测厚实验

实验仪器SGC-1型椭圆偏振测厚仪、计算机实验内容仪器的安装、校正。使用仪器测量纳米级薄膜的厚度和折射率数据记录与处理各项待测材料折射率以及薄膜厚度记录待测材料衬底P1A1P2A2薄膜厚度d/nm折射