硅片生产过程详解

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硅片生产过程(2)

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硅片生产培训教材完整

培训目的：确定硅片生产过程整个目标；为工艺过程确定一典型流程；描述每个工艺步骤的目的；在硅片生产过程中，硅片性能的三个主要关系的确定。简介硅片的准备过程从硅单晶棒开始，到清洁的抛光片结束，以能够在绝好

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