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微细加工光刻胶

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双层光刻胶数据

双层光刻胶制备T型结构参数工艺参数衬底:硅片;第一层胶:ARP5460,用4000rpm甩胶,160摄氏度硬烘烤5分钟,约1.5微米厚;第二层胶:SU8-2050,用2500rpm甩胶,60摄氏度硬烘

微电子工艺论文 光刻胶

微电子工艺论文 光刻胶光刻胶的深入学习与新型光刻胶张智楠电科111信电学院 山东工商学院264000摘要:首先,木文从光刻屮的光刻胶、光刻胶的分类、光刻胶的技术指标(物理特性) 这几个方血对光刻T艺小

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光刻胶清洗剂行业报告

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中国光刻胶行业报告

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光刻胶讲义 PPT课件

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