腾讯文库搜索-微细加工光刻胶
双层光刻胶数据
双层光刻胶制备T型结构参数工艺参数衬底:硅片;第一层胶:ARP5460,用4000rpm甩胶,160摄氏度硬烘烤5分钟,约1.5微米厚;第二层胶:SU8-2050,用2500rpm甩胶,60摄氏度硬烘
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光刻胶综述
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第3篇第八章光刻胶
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