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砷化镓晶体定向及籽晶加工
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砷化镓晶体定向及籽晶加工
砷化镓晶体定向、籽晶加工和安装技术一个理想的籽晶,应是同一材料的无缺陷或很少缺陷的有一定取向单晶制成.籽晶可以是圆柱,也可是方形。直径不宜太粗。籽晶必须具有确定的晶向,生长的砷化镓晶体一般有〈11l〉
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砷化镓生产工艺流程砷化镓生产工艺流程一、备料工序流程1、备料处理:⑴对坩埚及备件的处理① 将石英件和PBN坩埚放入煅烧炉中煅烧(目的是除去坩埚表面的杂质)② 将石英件和PBN坩埚送入腐蚀间用王水进行酸
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