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磁控溅射镀膜机

圆柱形平面式磁控溅射靶的特点与设计原理孙东明摘要：介绍了一种根据矩形平面靶的结构原理设计圆柱形、平面式磁控溅射靶的方法．并对如何发挥圆柱形、平面式磁控溅射靶的优点进行了分析．关键词：磁控溅射；靶；真空

磁控溅射镀膜原理及工艺(PPT44页)

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磁控溅射镀膜技术12

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高真空磁控溅射镀膜系统介绍

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磁控溅射玻璃镀膜电源Dr. Dirk OchsHÜTTINGER Elektronik GmbH + Co KG, Freiburg, Germany黄新盈深圳市微普真空系统集成有限公司介绍：近年来，