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磁控溅射镀膜技术12

- 一、引言 - 荷能粒子(例如氩离子)轰击固体表面,引起表面各种粒子,如原子、分子或团束从该物体表面逸出的现象称“溅射”。在磁控溅射镀膜中,通常是应用氩气电离产生的正离子轰击

磁控溅射镀膜技术1

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磁控溅射镀膜技术简述

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磁控溅射镀膜技术综合介绍

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磁控溅射镀膜机技术规格

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磁控溅射镀膜

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磁控溅射镀膜原理及工艺

磁控溅射镀膜原理及工艺摘要:真空镀膜技术作为一种产生特定膜层的技术,在现实生产生活中有着广泛的应用。真空镀膜技术有三种形式,即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。这里主要讲一下由溅射镀膜技术发展来的磁控溅射镀