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《微机电系统》课件
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《微机电系统》课件
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《微机电系统动力学》课件
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微机电系统功能材料-微机电系统技术基础课件
- 第二章微机电系统功能材料 - 2.1 概述 半导体硅及其化合物是制造大多数微机电系统的主要材料。同时,其他材料,如压电陶瓷、氧化锌、石英等电致伸缩材料、镍铁合金磁致
《微机电系统概论》课件
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微机电系统概论ppt课件
- 参考书 - 莫锦秋 梁庆华等,《微机电系统设计与制造》,化学工业出版社,2004.3刘广玉 樊尚春等,《微机械电子系统及其应用》,北京航空航天大学出版社,20
《微机电系统》PPT课件 (2)
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《微机电系统动力学》课件
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微机电系统技术基础课件8
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微机电系统设计与制造ppt课件
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《微机电系统概论》PPT课件
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微机电系统设计与制造ppt课件
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