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《掺杂技术离子注入》课件
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《离子注入技术》课件
- 《离子注入技术》ppt课件 - 离子注入技术概述离子注入技术的基本原理离子注入设备的结构与功能离子注入技术的主要工艺参数离子注入技术在半导体制造中的应用离子注入技术的
《离子注入技术》课件2
- 《离子注入技术》PPT课件 - - 制作人:制作者ppt时间:2024年X月 - 目录 - 第1
《离子注入技术》课件
- 离子注入技术 - - 制作人:PPT制作者时间:2024年X月 - 目录 - 第1章 离子注入
离子注入课件
- 第四章:离子注入 - 掺杂技术之二 - 为什么开发离子注入技术?随着器件特征尺寸的减小,出现的一些特殊的掺杂(如小剂量浅结掺杂、
掺杂技术离子注入
- 掺杂技术离子注入 - - 离子注入概述 - 最早应用于原子物理和核物理研究提出于1950’s1970’s中期引入半导体制
《离子注入技术》PPT课件
- 第6章 离子注入 - 田丽 - 微电子工艺[5] - 内容 - 6.1 概述6.2离子注入原理 6
离子注入技术应用及发展趋势
离子注入技术应用及发展趋势 作者:天神 2007-08-08 18:47:37 标签:知识/探索 摘要本文首先介绍离子注入技术,接着说明其在金属材料工业和半导体工业中的应用。最后预测离子注入技术今后
离子注入技术
-----WORD格式--可编写--专业资料-----离子注入技术纲要离子注入技术是现在半导体行业对半导体进行混杂的最主要方法。本文从对该技术的基来源理、基本仪器构造以及一些详细工艺等角度做了较为详尽
离子注入技术的介绍
离子注入技术的介绍离子注入技术就是将某种元素原子经过电离生成离子,并将离子放置在几十至几百千伏电压下使其进行加速,在获得较高的速度后射入事先放在真空靶室中的材料表面地一种离子束技术。离子注入机是集成的
离子注入PPT课件
- 离子束加工方式可分为 1、掩模方式(投影方式) 2、聚焦方式(扫描方式,或聚焦离子束(FIB)方式) - 掩模
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- 集成电路制造技术第四章 离子注入 - 西安电子科技大学微电子学院戴显英2013年9月 - 本章主要内容 - 离子注入