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二次离子质谱ppt课件
- SIMS 引言 - 二次离子质谱是利用质谱法分析初级离子入射靶面后,溅射产生的二次离子而获取材料表面信息的一种方法。二次离子质谱可以分析包括氢在内的全部元素,并
二次离子质谱ppt课件
- SIMS 引言 - 早在20世纪30年代,Arnot等人就研究了二次离子发射现象。1949年,Herzog和Viekbock首先把二次离子发射与质谱分析结
二次离子质谱分析技术ppt课件
- - - 离子溅射过程:一定能量的离子打到固体表面→引起表面原子、分子或原子团的二次发射—溅射离子;溅射的粒子一般以中性为主,有<1%的带有正、负电荷
二次离子质谱
- 二次离子质谱(SIMS) Secondary Ion Mass Spectroscopy - SIMS 引言 - 二次离子质谱是
二次离子质谱SIMSppt课件
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二次离子质谱sims
- 质谱分析是将样品转化为运动的带电气态离子碎片,于磁场中按质荷比(m/z)大小分离并记录的分析方法。其过程为可简单描述为: - -
碳基材料的二次离子质谱分析的开题报告
碳基材料的二次离子质谱分析的开题报告一、课题背景碳基材料是一类重要的材料,在多个领域如能源存储与转换、电子器件、生物医学等方面具有潜在应用。对其组成、结构及性质的深入了解对于进一步发展和应用碳基材料至
二次离子质谱-质谱原理与技术-现代化学分析原理与技术-化学分离课件
- 第四章 质谱原理与技术 - 第一节 质谱基本原理与质谱仪第二节 二次离子质谱 - - -
硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法编制说明
家标准《硅单晶中氮含量的测定二次离子质谱法》编制说明(送审稿)一'工作简况.立项目的和意义在硅单晶生长过程中,通常故意引入氮,其目的有:(1)增加单晶生长过程中无缺 陷区域的V/G允许值,其中,V是指
国家标准《重掺n型硅衬底中硼沾污的二次离子质谱检测方法》(送
前 言本标准技术内容等同采用SEMI MF 1528-1104 Test method for measuring Boron contamination in heavily doped n-
国家标准《硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检
前 言本标准等同采用SEMI MF 1617-0304 Silicon Materials – Test method for measuring surface sodium,alumin
国家标准-氮化铝材料中痕量元素(镁、镓)含量及分布的测定 二次离子质谱法-编制说明-送审稿.docx
国家标准《氮化铝材料中痕量元素(镁、锡)含量及分布的测定 二次 离子质谱法》编制说明(送审稿)一、 工作简况1、立项目的和意义半导体产业是信息技术革命的基础,在国家科技战略中具有举足轻重的作用。自上世