单晶炉工艺操作规范 (2)

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单晶炉培训资料(共17页)

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单晶炉资料

CL系列单晶炉，属软轴提拉型，用直拉法生长无位错电路级、太阳能级单晶的设备。此设备结构设计稳定，运行平稳，且有多项安全防护设施， 质量流量及温度控制精确， 整个晶体生长过程由高可靠的可编程计算机控制器

直拉单晶炉设备简介结构

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直拉式单晶炉测温方案

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论单晶炉的设计优化

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单晶炉PID控制

理论　　PID是以它的三种纠正算法而命名的。这三种算法都是用加法调整被控制的数值。而实际上这些加法运算大部分变成了减法运算因为被加数总是负值。这三种算法是： 　　比例- 来控制当前，误差值和一个负常数

直拉单晶炉设备简介结构ppt课件

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单晶炉配件备件清单

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单晶炉热场结构ppt课件

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