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晶盛单晶炉作业指导书课件
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直拉式单晶炉测温方案
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硅片制备多晶硅铸锭炉和单晶炉
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单晶炉维护与修理
蚈For personal use only in study and research; not for commercial use莃莃羃聿单晶炉维修和保养规程蒀蚀薇一、坩埚轴驱动部件的维修:螇莄
单晶炉真空系统的除尘技术
单晶炉真空系统的除尘技术摘要:本文主要阐述了单晶炉真空系统中除尘技术的重要性以及目前常用的除尘方式,包括物理除尘、化学除尘和静电除尘。将这些技术进行比较分析,着重介绍了静电除尘技术的工作原理及其在单晶
《LDK单晶炉热场》PPT课件
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转 单晶炉热场发展状况石墨热场部件传统的直拉单进炉用以生产硅半导体器件所需的硅单晶材料,随着全球能源供应的紧张,以及人类对清洁和可持续能源的需求,有效地利用太阳能已成为当今能源领域的主题,近年来,我国
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单晶炉热场结构试卷
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碳碳复合材料应用单晶炉热场
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单晶炉晶转对振动问题的预防
单晶炉拉晶过程中对振动问题的预防叶晋单晶炉在拉晶过程中振动问题是困扰该行业由来已久的难题。尤其是柔轴拉晶的机器在这一问题上表现更为严重。而国内的单晶炉大部分是这种方式,因而对这一问题的解决更是急需的。
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