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磁控溅射制备钼、钨薄膜及其结构性能研究

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磁控溅射制备SiC薄膜与性能及研究

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磁控溅射法制备非晶硅薄膜及其性能研究

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磁控溅射法制备si基TiN薄膜及其性能表征

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二氧化钒薄膜磁控溅射法制备、结构和光学性能

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BZT-BCT薄膜双靶磁控溅射制备和电性能

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磁控溅射TiN薄膜疏油疏水性能研究

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