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以ti-al薄膜为阻挡层硅基铁电电容器集成

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中国科学院上海硅酸盐研究所博士学位论文 ( 2 0 0 5) 摘 要铁电单晶P M N - P T电光性能和结构本质的研究摘 要铁电单晶( 1 - x ) P b ( Mg � 3 Nb 2 / 3