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MEMS设计中的尺度效应

- 1. 尺度的基本概念 - 尺度问题的基本意义 - 本章介绍尺度的目的在于提供一些可供选择的尺度规律,使设计者意识到缩小机器和器件尺度所带来的物理后果

MEMS定义及产业链概况分析

MEMS定义及产业链概况分析一、MEMS定义及产业链概况MEMS技术被誉为21世纪具有革命性的新技术,它的诞生和发展是 “需求牵引”和“技术推动”的综合结果,是微电子和微机械的巧妙 结合。MEMS即微

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MEMS复合式振动能量采集器的设计及模拟

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MEMS麦克风的基本原理

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基于MEMS加速度计的记录仪

基于MEMS加速度计的记录仪摘 要加速度记录仪以Freescale高集成度三轴加速度传感器MMA8453Q为传感器,以TI公司低功耗处理MSP430F1611为控制核心,以Flash存储器K9F1G

微电子机械系统(MEMS)综述

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高g值条件下MEMS微构件动态特性测试装置的研制的开题报告

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