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MEMS气体压力传感器的系统级封装(SiP)技术研究

南昌大学硕士学位论文MEMS气体压力传感器的系统级封装(SiP)技术研究姓名:陈思远申请学位级别:硕士专业:机械设计及理论指导教师:罗玉峰20070602摘要 摘要 压力传感器是MEMS技术的重要应用

mems在医学中的应用与发展

MEMS在医学中的应用与发展李晓云 机电学院 2120140162序言一个公认的事实是微电子是20世纪最有影响力的技术之一[1]。近半个世纪以来,微电子从粗糙的单一电晶体到集有数百万颗电晶体的微电脑

微细加工与MEMS技术张庆中1引论

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《MEMS设计技术》PPT课件

- MEMS设计 - 电话:13936275369Email: duxl2008@126.com - 主讲人:杜 西 亮 -

MEMS低温互连键合技术研究

东南大学学位论文独创性声明 东南大学学位论文使用授权声明 本人声明所呈交的学位论文是我个人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究 成果。尽我所知,除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他人

MEMS陀螺仪发展综述及技术研究

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小波变换及其在MEMS谐振器运动轨迹的特征提取中的应用小波变换及其在 MEMS 谐振器运动 轨迹的特征提取中的应用 1 1 1 2 1 2金翠云,栗大超,靳世久,冯亚林,李一博,郝一龙 (1. 天津大

基于MEMS的微型惯性导航技术综述

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MEMS陀螺仪器件级真空封装技术

第】7卷第8期2009年8月光学精密工程Optics and Precision EngineeringVol. 17 No. 8Aug. 2009文童编号 1004-924 X (2009 )08-

微结构(MEMS)材料力学性能测试技术课件

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mems市场分析

1、运动传感器:包括加速度计、陀螺仪和磁传感器。他们正经历快速发展期,随着技术不断演进,组合传感器应运而生,它需要更高水平的集成技术和传感器融合算法。                      2、M

微细加工与MEMS技术引论

- 微细加工与MEMS技术 - 教材:《微电子制造科学原理与工程技术》,Stephen A. Campbell,电子工业出版社 - 主要参考书: