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单晶炉坩埚内对流问题的研究的开题报告

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单晶炉故障维修

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单晶炉维修和养护规程一、坩埚轴驱动部件的维修：坩埚轴驱动部件是设备的核心部件，要求各种精度都比较高，要增强保护，坩埚轴是多晶硅料的支撑轴，其精度高，工艺复杂，应要点保护。1、要经常检查其冷却水的状况，

上虞晶盛单晶炉操作说明书

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