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上海汉虹单晶炉说明书

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晶盛单晶炉作业指导书

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直拉单晶炉及热系统课件

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直拉式单晶炉提拉过程控制系统研究的开题报告

直拉式单晶炉提拉过程控制系统研究的开题报告一、选题背景单晶炉是半导体行业中重要的设备,其生产出的单晶材料被广泛应用于光、电子、能源等领域。在单晶炉的生产过程中,提拉过程是一个关键的环节,该过程控制的好

《单晶炉热场结构》课件

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直拉单晶炉设备简介结构PPT共33页

- 直拉单晶炉设备简介结构 - 16、云无心以出岫,鸟倦飞而知还。17、童孺纵行歌,斑白欢游诣。18、福不虚至,祸不易来。19、久在樊笼里,复得返自然。20、羁鸟恋旧林,池鱼思故

单晶炉维护与修理供参习

单晶炉维修和保养规程一、坩埚轴驱动部件的维修:坩埚轴驱动部件是设备的核心部件,要求各种精度都比较高,要加强维护,坩埚轴是多晶硅料的支撑轴,其精度高,工艺复杂,应重点维护。1、要经常检查其冷却水的情况,

单晶二部单晶炉周期保养时间记录表(135炉)

单晶炉(135炉)项目周期维护保养记录表序号保养内容周期 月份1月2月3月4月5月6月7月8月9月10月11月12月一机械部分保养(由设备维修人员操作)1炉台整体的水平1年2减速机更换润滑油、直线滑

新版汉虹单晶炉保养与维护

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基于FEMAG-CZ热场仿真软件的单晶炉热场分析

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直拉单晶炉温度梯度与单晶生长热场的调整ppt课件

- (1)热场的概念 热场也称温度场。热系统内的温度分布状态叫热场。煅烧时,热系统内的温度分布相对稳定,称为静态热场。在单晶生长过程中,热场是会发生变化,称为动态热场。 单晶生长时,由

单晶炉项目可行性研究报告结构设计

单晶炉项目可行性研究报告结构设计第一章 项目总论一、项目名称及承办单位1、项目名称:单晶炉项目2、项目建设性质:新建3、承办企业名称:XXX有限公司4、项目负责人:AA二、项目拟建地址项目建设地址: