《单晶炉操作规范》doc版

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85单晶炉标准操作规程

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单晶炉工艺操作规范 (2)

XX光电材料有限公司文件编号Q/WS9308-8-2008TDR-80单晶炉工艺操作规范(简要)版本号：A/0页码： 共9页生效日期：2008年4月21日取单晶作业　1　准备　作业内容注意事项1) 按

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单晶炉操作说明

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单晶炉操作注意事项

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第一章单晶生长条件1.1设备要求1丄1运行条件（以下以TDR-85A-ZJS炉为例，其余炉型要求参照说明书）（1） 冷却水要求水压：炉子进出水压差要求介于2〜3公斤之间，真空泵进出水压差要求1.5公斤