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晶盛单晶炉操作说明 图文
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上虞晶盛单晶炉操作说明书
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第一章 单晶生长条件1.1 设备要求1.1.1 运行条件(以下以 TDR-85A-ZJS 炉为例,其余炉型要求参照说明书)(1)冷却水要求水压:炉子进出水压差要求介于 2~3 公斤之间,真空泵进出水
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