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工程挨次:• BM→‚SPT ITO→ƒEtch ITO→„X 轴架桥(EOC 光阻)→…SPT Mo-Al-Mo→†Etch Mo-Al-Mo→‡保护层(EOC 光阻)以下是各工程制程细部讲解:第一
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工程顺序:• X 轴架桥(EOC 光阻)→…SPTMo-Al-Mo→†Etch Mo-Al-Mo→‡保护层(EOC 光阻)以下是各工程制程细部解说:第一道工程是 BM (Black Matrix),制