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微机械MEMS陀螺仪原理和几大公司的基本工艺流程

微机械 MEMS 陀螺仪原理：目前，MEMS 陀螺仪主要以振动式为主，振动式陀螺仪主要由支撑框架、谐振质量块，以及激励和检测单元几个部分构成。驱动与检测方式以静电驱动、电容检测最为常见。检测原理是利用

微机械陀螺仪报告

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陀螺仪介绍及编程

最近,被安排调试MPU6050模块,之前从没接触过相关MEMS传感器,所以感觉一头雾水。幸好还有网络,还有强大的兄弟团的支持。不过,很可惜,网上大部分资料只是简单教你如何配置MPU6050并从数据寄存

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陀螺仪+X+Y+Z

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双质量硅微陀螺仪温度特性研究的开题报告1. 研究背景微机电系统(MEMS)在惯性导航、飞行控制、姿态测量等领域有着广泛的应用。双质量硅微陀螺仪是MEMS惯性传感器的一种重要形式，具有体积小、重量轻、灵

《手机陀螺仪的用处》课件

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