腾讯文库搜索-第四章离子注入
第四章离子注入
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第四章离子注入
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第4章离子注入
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第五章 离子注入h1
第五章第五章 离子注入 离子注入(Ion Implantation)§ 5.1 前言§ 5.2 离子注入系统§ 5.3 离子注入原理§ 5.4 离子注入损伤及其退火处理§ 5.5 离子注入在集成电路中
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TCAD 离子注入仿真实验报告 一、实验目的 1、熟悉 Silverback 的仿真模拟环境。 2、掌握离子注入的关键工艺影响参数,以及如何在 TCAD 环境下进行离子注入工艺模拟。 二、实验要求
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离子注入技术
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