极紫外光刻材料研究进展

第 4 3卷 第 6期 红 外 与 激 光 工 程 2014年 6 月 VO1 ． 43 N O． 6 I nf r a r ed and Las erEngi neer i ng J un． 201

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光刻实验一．实验目的了解光刻在样品制备工艺中的作用，熟悉光刻工艺的步骤和操作。二．实验原理 光刻是一种复印图象与化学腐蚀相结合的综合性技术，它先采用照像复印的方法，将光刻掩模板上的图形精确地复制

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光刻试验一．试验目的理解光刻在样品制备工艺中的作用，熟悉光刻工艺的环节和操作。二．试验原理 光刻是一种复印图象与化学腐蚀相结合的综合性技术，它先采用照像复印的措施，将光刻掩模板上的图形精确地复制

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2021年度光刻和刻蚀工艺讲义

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