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kayAAA椭圆偏振法测量薄膜厚度及折射率
椭圆偏振法测量薄膜厚度及折射率实验目的:1、利用椭偏仪测量硅衬底薄膜的折射率和厚度;提高物理推理与判别处理能力。2、用自动椭偏仪再测量进行对比;分析不同实验仪器两种方式的测量。提高误差分析与分配能力。
椭圆偏振法测量薄膜厚度及其折射率
实验名称: 椭圆偏振法测量薄膜厚度及其折射率 一、实验目的1、利用椭偏仪测量硅衬底薄膜的折射率和厚度;提高物理推理与判别处理能力2、用自动椭偏仪再测量,进行比对;分析不同实验仪器两种方式的
椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率
- - 椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率 - 实验目的 - (1) 了解椭圆偏振法测量薄膜参数的基本原理;(2)掌握椭
椭圆偏振法测量薄膜厚度及折射率
得分教师签名批改日期 深 圳 大 学 实 验 报 告课程名称: 近代物理实验 实验名称: 椭圆偏振法测量薄膜厚度及折射率 学院:
实验名称椭圆偏振法测量薄膜厚度和折射率一
实验名称:椭圆偏振法测量薄膜厚度和折射率(一)引言: 椭圆偏振法广泛地应用于固体基片上介质薄膜的测量。在己有测定薄膜厚度的方法中,它是能测量到最薄和精度最高的一类。测量范围从0. 1 nm到几
椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率
- 椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率 - 引言椭圆偏振仪的基本原理椭圆偏振仪测量薄膜厚度椭圆偏振仪测量薄膜折射率实验结果的应用与展望 - 引言
椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率(9)
综合设计性近代物理实验的研究之一----“椭圆偏振法测量薄膜的厚度和折射率”实验教学方案杨建荣,毛杰健,简伟伟(学生)摘要:椭圆偏振法测量薄膜的厚度和折射率实验,在我校是首次开设的近代物理实验。本文介
椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率资料
实验15 椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率 在近代科学技术的许多部门中对各种薄膜的研究和应用日益广泛.因此,更加精确和迅速地测定一给定薄膜的光学参数已变得更加迫切和重要.在实际工作中虽然可以
用椭圆偏振仪测量薄膜的厚度和折射率
用椭圆偏振仪测量薄膜的厚度和折射率一实验目的1、 了解椭圆偏振法的基本原理;2、 学会用椭圆偏振法测量纳米级薄膜的厚度和折射率. 二实验仪器TPY-1型椭圆偏振测厚仪,计算机三实验原理:椭圆偏振测厚技
fwxAAA椭圆偏振法测量薄膜厚度及折射率
椭圆偏振法测量薄膜厚度及折射率实验目的:1、利用椭偏仪测量硅衬底薄膜的折射率和厚度;提高物理推理与判别处理能力。2、用自动椭偏仪再测量进行对比;分析不同实验仪器两种方式的测量。提高误差分析与分配能力。
椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率
椭圆偏振仪测量薄膜厚度和折射率在近代科学技术的许多部门中对各种薄膜的研究和应用日益广泛.因此,更加精确和迅速地测定一给定薄膜的光学参数已变得更加迫切和重要.在实际工作中虽然可以利用各种传统的方法测定光
用椭圆偏振仪测量薄膜的厚度与折射率
用椭圆偏振仪测量薄膜的厚度一 实验目的1、了解椭圆偏振法的基本原理;2、学会用椭圆偏振法测量纳米级薄膜的厚度和折射率.二 实验仪器TPY-1型椭圆偏振测厚仪,计算机三 实验原理:椭圆偏振测厚技术