区熔法制备单晶硅

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区熔法超纯单晶硅数值模拟方案

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第九章单晶硅制备直拉法

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单晶硅制备 直拉法

- 直拉生长工艺 - 直拉法又称Cz法,目前,98%的电子元件都是用硅材料制作的,其中约85%是用直拉硅单晶制作的，直拉硅单晶由于具有较高的氧含量,机械强度比Fz硅单晶大,在制

单晶硅制备-直拉法

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第九章 单晶硅制备-直拉法

- 直拉生长工艺 - 直拉法又称Cz法，目前，98%的电子元件都是用硅材料制作的，其中约85%是用直拉硅单晶制作的。直拉硅单晶由于具有较高的氧含量，机械强度比Fz硅单晶大，在制

第九章-单晶硅制备-直拉法课件

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单晶硅材料的制备与加工

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