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单晶炉维护与修理供参习

单晶炉维修和保养规程一、坩埚轴驱动部件的维修:坩埚轴驱动部件是设备的核心部件,要求各种精度都比较高,要加强维护,坩埚轴是多晶硅料的支撑轴,其精度高,工艺复杂,应重点维护。1、要经常检查其冷却水的情况,

新版汉虹单晶炉保养与维护

目 录我们专业单晶炉维修以及配件更换(QQ1310141090 18626351352) TOC \o "1-3" \h \z HYPERLINK \l "_Toc144478647" 一.

基于FEMAG-CZ热场仿真软件的单晶炉热场分析

基于FEMAG-CZ热场仿真软件的单晶炉热场分析   摘要:基于FEMAGSoft公司的EMAG-CZ热场仿真软件具有模拟提拉法生长单晶体的热场仿真功能,提出使用温度梯度分析热场,通过仿真证明热场设计

直拉单晶炉温度梯度与单晶生长热场的调整ppt课件

- (1)热场的概念 热场也称温度场。热系统内的温度分布状态叫热场。煅烧时,热系统内的温度分布相对稳定,称为静态热场。在单晶生长过程中,热场是会发生变化,称为动态热场。 单晶生长时,由

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半导体第三讲-上【半导体单晶炉】课件

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碳碳复合材料坩埚在直拉单晶炉中的应用研究   碳/碳复合材料应用于直拉硅单晶生长的研究   摘要:本文介绍了热系统在直拉硅单晶中的作用,对比了石墨与碳/碳复合材料的生产过程和性能特点与差异。通过在单晶

单晶炉机械结构PPT40页

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新型单晶炉热场系统集成设计-湖南科技厅

国家科学技术进步奖推荐书(2016年度)一、项目基本情况项目 名称项目名称新型单晶炉热场系统集成设计、开发及应用公布名新型单晶炉热场系统集成设计、开发及应用主要完成人廖寄乔、李军、谭周建、王冰泉、张福