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微机电系统功能材料微机械制造技术
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微机电系统(MEMS)技术的研究与应用
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微机电系统(MEMS)器件低温封装方法研究的开题报告一、研究背景微机电系统(MEMS)器件是一种基于微纳加工技术,将微机械技术和电子技术相结合的产品。它具有微型化、高精度、低功耗、低成本等优势,已广泛
外文翻译(中文)---简易微机电系统设备的无线供电方案-其他专业
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报告题目:“流光与材”:多学科耦合的微系统研究微机电系统(MEMS)是
报告题R:"流光与材”:多学科耦合的微系统研究微机电系统(MEMS)是高度学科交叉的典范,已经成为信息、物质、生命学科学术研究和 应用的强冇力的载体和工具。吴天准博士的报告将立足于微尺度下流体与表而两