微细加工光刻胶

- 第 8 章 光刻胶 - 一、光刻胶的类型 凡是在能量束（光束、电子束、离子束等）的照射下，以交联反应为主的光刻胶称为 负性光刻胶，简称 负胶。

《微细加工光刻胶》课件

- - 《微细加工光刻胶》PPT课件 - 在微细加工中，光刻胶发挥着至关重要的作用。本课件将介绍光刻胶的种类、制备流程、微细加工技术的应用和发展趋势。

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- 第 8 章 光刻胶 - 一、光刻胶的类型 凡是在能量束（光束、电子束、离子束等）的照射下，以交联反应为主的光刻胶称为 负性光刻胶，简称 负胶。

微细和纳米加工技术 光学曝光技术（2.4 光刻胶的特性）

- ★光刻胶是指一大类具有光敏化学作用的高分子聚合物材料。★光刻胶又称为“抗蚀剂”，因为它的作用就是作为抗刻蚀层保护晶圆表面。★光刻胶只是一种形象的说法，因为这类聚合物从外观上呈现为胶状液体。

光刻胶

- 光刻胶 - 一、光刻胶的类型 凡是在能量束（光束、电子束、离子束等）的照射下，以交联反应为主的光刻胶称为负性光刻胶，简称负胶。

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