腾讯文库搜索-溅射薄膜制备技术
第三章溅射薄膜制备技术名师编辑PPT课件
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溅射法制备铜锌锡硫薄膜材料的经验总结溅射薄膜
溅射法制备铜锌锡硫薄膜材料的经验总结_溅射薄膜摘要:本文回顾了溅射法制备CZTS的若干历史文献,并主要就元素比例、溅射顺序、靶材选择、基片温度四个方面的经验做了总结。 关键词:铜锌锡硫;CZTS;溅
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磁控溅射法制备薄膜材料实验研究报告
螇实验一 磁控溅射法制备薄膜材料莈实验目地羃 1、详细掌握磁控溅射制备薄膜地原理和实验程序; 薃 2、制备出一种金属膜,如金属铜膜; 蒀 3、测量制备金属膜地电学性能和光学性能; 袄
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磁控溅射制备SiC薄膜与性能及研究
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磁控溅射金属薄膜的制备
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磁控溅射法沉积TCO薄膜的电源技术
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