硅片的等级标准

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多晶硅片质量等级分类标准.pdf

多晶硅片质量等级分类标准号序 检验项目 A B C D 检测方法 式检验方 A1 A2 B1、B2、B3…B9 1 导电类型 P P P 准片标级硅符合 A性能其他

多晶硅片检测标准

多晶硅片技术标准1范围1.1 本要求规定了多晶硅片的分类、技术要求、包装以及检验规范等1.2 本要求适用于多晶硅片的采购及其检验。2 规范性引用文件2.1 GB/T 1557 硅晶体中间隙氧含量的红

多晶硅片检测标准

多晶硅片技术标准1范围1.1 本要求规定了多晶硅片的分类、技术要求、包装以及检验规范等1.2 本要求适用于多晶硅片的采购及其检验。2 规范性引用文件2.1 GB/T 1557 硅晶体中间隙氧含量的红

硅片技术标准

单晶硅片技术标准1范围1.1 本要求规定了单晶硅片的分类、技术要求、包装以及检验标准等1.2 本要求适用于单晶硅片的采购及其检验。2 标准性引用文件2.1 ASTM F42-02    半导体材料导电

硅片技术标准

单晶硅片技术标准1范围1.1 本要求规定了单晶硅片的分类、技术要求、包装以及检验规范等1.2 本要求适用于单晶硅片的采购及其检验。2 规范性引用文件2.1 ASTM F42-02半导体材料导电率类型的

单晶硅片的技术标准

单晶硅片的技术标准范围本要求规定了单晶硅片的分类、技术要求、包装以及检验规范等 本要求适用于单晶硅片的采购及其检验。规范性引用文件ASTM F42-02 半导体材料导电率类型的测试方法ASTM F26

多晶硅片-国家级标准

ICS 29.045H80GB/T XXX X—200X太阳能级多晶硅块（讨论稿）200X-X X-X X 发布中华人民共和国国家技术监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会太阳能级多晶硅块1范围

硅片技术标准

单晶硅片技术标准1范围1.1本要求规定了单晶硅片的分类、技术要求、包装以及检验规范等1.2本要求适用于单晶硅片的采购及其检验。2规范性引用文件ASTM F42-02 半导体材料导电率类型的测试方法AS

多晶硅片-国家级标准

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半导体硅片清洗工艺标准

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硅片加工-硅片清洗专业知识课件

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