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磁控溅射法制备薄膜材料实验报告
实验一 磁控溅射法制备薄膜材料1、实验目的1、详细掌握磁控溅射制备薄膜的原理和实验程序; 2、制备出一种金属膜,如金属铜膜; 3、测量制备金属膜的电学性能和光学性能; 4、掌握实验数据处理和分析
磁控溅射镀膜的简介及其实际操作
磁控溅射镀膜的简介及其实际操作作者:徐超群作者单位:乐山师范学院物理与电子工程系【摘要】溅射技术的最新成就之一是磁控溅射。对于二级溅射、偏压溅射、三级或四级溅射和射频溅射而 言。它们的缺
磁控溅射技术和透明导电薄膜
- 磁控溅射技术和透明导电薄膜 - - - 薄膜的种类及应用磁控溅射技术原理及应用透明导电薄膜性能及应用
磁控溅射法制备薄膜材料实验研究报告
螇实验一 磁控溅射法制备薄膜材料莈实验目地羃 1、详细掌握磁控溅射制备薄膜地原理和实验程序; 薃 2、制备出一种金属膜,如金属铜膜; 蒀 3、测量制备金属膜地电学性能和光学性能; 袄
磁控溅射镀膜原理和工艺设计
磁控溅射镀膜原理及工艺摘要:真空镀膜技术作为一种产生特定膜层的技术,在现实生产生活中有着广泛的应用。真空镀膜技术有三种形式,即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。这里主要讲一下由溅射镀膜技术发展来的磁控溅射镀
磁控溅射镀膜原理与工艺设计
磁控溅射镀膜原理及工艺摘要:真空镀膜技术作为一种产生特定膜层的技术,在现实生产生活中有着广泛的应用。真空镀膜技术有三种形式,即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。这里主要讲一下由溅射镀膜技术发展来的磁控溅射镀
磁控溅射法制备薄膜材料实验报告
实验一 磁控溅射法制备薄膜材料实验目的 1、详细掌握磁控溅射制备薄膜的原理和实验程序; 2、制备出一种金属膜,如金属铜膜; 3、测量制备金属膜的电学性能和光学性能; 4、掌
磁控溅射镀膜原理及工艺设计
磁控溅射镀膜原理及工艺摘要:真空镀膜技术作为一种产生特定膜层的技术,在现实生产生活中有着广泛的应用。真空镀膜技术有三种形式,即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。这里主要讲一下由溅射镀膜技术开展来的磁控溅射镀
磁控溅射镀膜的原理与故障分析_郝晓亮
磁控溅射镀膜的原理与故障分析_郝晓亮 EPE电子工业专用设备 EquipmentforElectronicProductsManufacturing电子专用设备研制磁控溅射镀膜的原理与故障
磁控溅射系统基本技术要求
磁控溅射系统基本技术要求 磁控溅射镀膜机技术规格 1. 货物名称、数量 磁控溅射镀膜机1套 2. 工作条件及用途 2.1 工作条件 2.1.1 能在电源电压380?10%V、50?2%Hz、室温0?~
等离子增强磁控溅射技术介绍
第二章 等离子增强磁控溅射沉积技术等离子增强磁控溅射(Plasma Enhanced Magnetron Sputtering)沉积技术,简写为PEMS,是物理气相沉积(PVD)技术的一种。它与传统
实验4磁控溅射法制备薄膜材料
实验4 磁控溅射法制备薄膜材料实验目的1. 掌握真空的获得2. 掌握磁控溅射法的基本原理与使用方法 3. 掌握利用磁控溅射法制备薄膜材料的方法 二、实验原理 磁控溅射属于辉光放电范畴,利用阴极