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精选阴极电弧和磁控溅射镀膜设备改造前后对比

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低温调整磁控溅射镀膜故障的排除

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磁控溅射镀膜机PLC控制系统1

磁控溅射镀膜机的PLC控制系统1磁控溅射镀膜机的PLC控制系统设计 磁控溅射镀膜技术已经被广泛应用在了薄膜制备领域,磁控溅射镀膜设备摘 要:在控制系统设计上对稳定运行有相当大的需求。本文介绍了真空磁控

高真空单靶磁控溅射镀膜机使用说明

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电子学院磁控溅射镀膜设备项目

电子学院磁控溅射镀膜设备项目招标编号NYCG2015--- S011 南京邮电大学采购招标管理办公室 2015年1月 第一章 投标邀请函 南京邮电大学就_电子学院磁控溅射镀膜设备_项目所需货物进行公开

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一种全靶腐蚀磁控溅射真空镀膜设备

- 一种全靶腐蚀磁控溅射设备(1)   传统的磁控溅射设备由于等离子体在靶面形成跑道效应, 所以存在着靶材利用率低, - 反应溅射过程中稳定性差的问题。M.J. Thwa

磁控溅射镀膜上位机控制系统设计论文

目录中文摘要    1Abstract    21  绪论    31.1 磁控溅射镀膜的现状与发展趋势    31.2 磁控溅射镀膜的原理    31.3 设计的主要内容    41.3.1  PL

磁控溅射镀膜设备中靶的优化设计

磁控溅射镀膜设备中靶的优化设计,;,"""",,,,,,,,;1.2 SOLERAS""(ShuntedDesign),1,,,,,,80%,6%;2,,SOLERAS""(Surface Profi

磁控溅射卷绕镀膜设备运行监控系统的设计与实现

磁控溅射卷绕镀膜设备运行监控系统的设计与实现第1章 绪 论 1.1课题概述 在许多领域作为一种非常有效的薄膜沉积方法被普遍和成功地应用如材料表面处理、光学薄膜和微电子等)[1]。产品在航天、生物以及