腾讯文库搜索-磁控溅射镀膜工艺
精选阴极电弧和磁控溅射镀膜设备改造前后对比
分子增压泵磁控溅射镀膜设备储继国1,龚建华21.深圳大学物理科学与技术学院,2.深圳市摩尔真空技术有限公司(广东省产学研基金项目)一、背景传统大型磁控溅射镀膜设备采用扩散泵抽气,能耗高,油蒸汽污染严重
低温调整磁控溅射镀膜故障的排除
低温调整磁控溅射镀膜故障的排除1.磁控溅射源常见故障的排除故障名称成 因 及 对 策放电不正常(1)磁控溅射过程中放电不正常主要表现为,电压升至400V后发生过流;或放电不集中在靶面,而由靶伸向放电
磁控溅射镀膜机PLC控制系统1
磁控溅射镀膜机的PLC控制系统1磁控溅射镀膜机的PLC控制系统设计 磁控溅射镀膜技术已经被广泛应用在了薄膜制备领域,磁控溅射镀膜设备摘 要:在控制系统设计上对稳定运行有相当大的需求。本文介绍了真空磁控
高真空单靶磁控溅射镀膜机使用说明
高真空单靶磁控溅射镀膜机使用说明沈阳天成真空技术有限责任公司20011年12月高真空单靶磁控溅射镀膜机使用说明本磁控溅射设备是受吉林大学的委托,根据双方签署的技术合同要求而研制的。本磁控溅射设备可装卡
电子学院磁控溅射镀膜设备项目
电子学院磁控溅射镀膜设备项目招标编号NYCG2015--- S011 南京邮电大学采购招标管理办公室 2015年1月 第一章 投标邀请函 南京邮电大学就_电子学院磁控溅射镀膜设备_项目所需货物进行公开
磁控溅射镀膜设备升级换代的新思路
磁控溅射镀膜设备升级换代的新思路磁控溅射镀膜设备升级换代的新思路、新设备和新工艺 再谈本底真空与放气率 龚建华 目前,传统产业的升级换代已经成为国家的战略决策,各级政府已出台,或者即将出台各种资助政策
直流磁控溅射镀膜在不锈钢刀片涂层技术中的应用
直流磁控溅射镀膜在不锈钢刀片涂层技术中的应用 1磁控溅射镀膜机理分析 磁控溅射镀膜所获得的膜层质量较好,膜基强度较高,设计性能较好,广泛应用于刀具涂层中。磁控溅射镀膜机理如下:
阴极电弧和磁控溅射镀膜设备改造前、后对比
分子增压泵磁控溅射镀膜设备储继国1,龚建华21.深圳大学物理科学与技术学院,2.深圳市摩尔真空技术有限公司(广东省产学研基金项目)一、背景传统大型磁控溅射镀膜设备采用扩散泵抽气,能耗高,油蒸汽污染严重
一种全靶腐蚀磁控溅射真空镀膜设备
- 一种全靶腐蚀磁控溅射设备(1) 传统的磁控溅射设备由于等离子体在靶面形成跑道效应, 所以存在着靶材利用率低, - 反应溅射过程中稳定性差的问题。M.J. Thwa
磁控溅射镀膜上位机控制系统设计论文
目录中文摘要 1Abstract 21 绪论 31.1 磁控溅射镀膜的现状与发展趋势 31.2 磁控溅射镀膜的原理 31.3 设计的主要内容 41.3.1 PL
磁控溅射镀膜设备中靶的优化设计
磁控溅射镀膜设备中靶的优化设计,;,"""",,,,,,,,;1.2 SOLERAS""(ShuntedDesign),1,,,,,,80%,6%;2,,SOLERAS""(Surface Profi
磁控溅射卷绕镀膜设备运行监控系统的设计与实现
磁控溅射卷绕镀膜设备运行监控系统的设计与实现第1章 绪 论 1.1课题概述 在许多领域作为一种非常有效的薄膜沉积方法被普遍和成功地应用如材料表面处理、光学薄膜和微电子等)[1]。产品在航天、生物以及